產(chǎn)品中心
Product Center當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心材料樣品處理小型濺射儀KT-Z1650PVD持久型小型濺射儀
持久型小型濺射儀,石英玻璃腔體,濺射距離可調(diào)節(jié),外接水冷機(jī)可持久濺射,觸摸屏控制,濺射時間工藝記憶儲存。
品牌 | 鄭科探 | 濺射氣體 | 根據(jù)需求通氣 |
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樣品臺尺寸 | 50mm | 控制方式 | 觸摸屏智能控制 |
樣品倉尺寸 | φ160x160mm | 靶材尺寸 | 50mm |
靶材材質(zhì) | 金 鉑 銅 銀 等 | 價格區(qū)間 | 面議 |
產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
持久型小型濺射儀
一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料,且具有設(shè)備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),
磁控濺射法更是實(shí)現(xiàn)了高速、低溫、低損傷。因?yàn)槭窃诘蜌鈮合逻M(jìn)行高速濺射,必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場,利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。
需要鍍膜的樣品
1、電子束敏感的樣品:
主要包括生物樣品,塑料樣品等。SEM中的電子束具有較高能量,在與樣品的相互作用過程中,它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對電子束敏感的材料,那這種相互作用會破壞部分甚至整個樣品結(jié)構(gòu)。這種情況下,用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護(hù)層的作用,防止此類損傷;
2、非導(dǎo)電的樣品:
由于樣品不導(dǎo)電,其表 面帶有“電子陷阱", 這種表面上的電子積累 被稱為“充電"。為了 消除荷電效應(yīng),可在樣 品表面鍍一層金屬導(dǎo)電 層,鍍層作為一個導(dǎo)電 通道,將充電電子從材 料表面轉(zhuǎn)移走,消除荷 電效應(yīng)。在掃描電鏡成 像時,濺射材料增加信 噪比,從而獲得更好的成像質(zhì)量。
持久型小型濺射儀廠家供應(yīng)技術(shù)參數(shù);
控制方式 | 7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制 |
濺射電源 | 直流濺射電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 | 機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 | ≤30Pa |
擋板類型 | 電控 |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 | 可旋轉(zhuǎn)φ62 (可安裝φ50基底) |
樣品臺轉(zhuǎn)速 | 8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 | 40-105mm |
真空測量 | 皮拉尼真空計(jì)(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預(yù)留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |