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微型低溫探針冷臺(tái),可定低溫制探針臺(tái)系統(tǒng),整套系統(tǒng)包括探針臺(tái)真空腔主體、鐵制抗震支架、進(jìn)口分子泵機(jī)組、視頻顯微鏡、探針、智能溫控儀等配置
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產(chǎn)品分類品牌 | 鄭科探 | 腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
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微型低溫探針冷臺(tái),可定低溫制探針臺(tái)系統(tǒng),整套系統(tǒng)包括探針臺(tái)真空腔主體、鐵制抗震支架、進(jìn)口分子泵機(jī)組、視頻顯微鏡、探針、智能溫控儀等配置
一部分:系統(tǒng)及指標(biāo)描述
1、總體規(guī)格
尺寸:650mmW*650mmD*1500mmH(含支架)
自重:約80Kg
2、結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)
(1)真空腔體:真空度優(yōu)于6×10-4Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5Pa。留有2個(gè)用戶法蘭接口(可接入氣體或者額外的電纜)
(2)探針控制:標(biāo)配4個(gè)探針臂。調(diào)節(jié)范圍x軸12mm ±6mm,y軸12mm ±6mm,z軸12mm ±6mm,調(diào)節(jié)精度≤5μm。每個(gè)探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺(tái)底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜
(3)顯微鏡模塊:連續(xù)變倍單筒顯微鏡,光學(xué)放大倍率:0. 5X~3. 75X(使用0. 75X附加物鏡時(shí)),視頻放大倍率約700倍??蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭,帶同軸照明和環(huán)形照明,帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦;
(4)變溫樣品臺(tái):50mm直徑。變溫范圍:80K~400K??販胤€(wěn)定性優(yōu)于±0.01K
(5)可選配接入光纖,可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖
(6)系統(tǒng)直流漏電低于10pA
3、含進(jìn)口分子泵機(jī)組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀
4、設(shè)備照片(因配置不同,照片僅供參考)
微型低溫探針冷臺(tái)
技術(shù)參數(shù);
真空腔體 | |
類型 | 加熱型350℃ 或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃ |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
腔體內(nèi)尺寸 | φ90x40mm |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm(選配凹視窗Φ22mm) |
腔體抽氣口 | KF16 |
腔體進(jìn)氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
腔體出氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
腔體正壓 | ≤0.05MPa |
腔體真空度 | 機(jī)械泵≤5Pa (5分鐘) 分子泵≤5E-3Pa(30分鐘) |
樣品臺(tái) | |
樣品臺(tái)材質(zhì) | 304不銹鋼 |
樣品臺(tái)尺寸 | 26X26mm |
樣品臺(tái)-視窗 距離 | 30mm(可選凹視窗間距15mm) |
樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器 | A 級(jí)PT100鉑電阻 |
樣品臺(tái)溫度 | 室溫到350℃(可選高低溫樣品臺(tái) 高溫350℃低溫-190℃) |
樣品臺(tái)測(cè)溫誤差 | ±0.2℃ |
樣品臺(tái)變溫速率 | 高溫10℃/min 低溫5℃/min 最大值 |
溫控儀 | |
溫度顯示 | 7寸人機(jī)界面 |
溫控類型 | 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定(可選30段編程控溫) |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫控精度 | ±0.5℃ |
溫度信號(hào)輸入類型 | PT100熱電阻 (可選 K S B型熱電偶) |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱(液氮流量線性控制液氮制冷) |
輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 |
探針 | |
電信號(hào)接頭 | 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長(zhǎng)1.2米 |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA |
探針數(shù)量 | 4探針(可定做6探針) |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動(dòng)平臺(tái) | |
X軸移動(dòng)行程 | 12mm ±6mm |
X軸控制精度 | ≤5μm |
Y軸移動(dòng)行程 | 12mm ±6mm |
Y軸控制精度 | ≤5μm |
Z軸移動(dòng)行程 | 12mm ±6mm |
Z軸控制精度 | ≤5μm |
數(shù)碼顯微鏡 | |
顯微鏡類別 | 物鏡放大+電子放大 |
顯微鏡放大倍數(shù) | 100倍 |
顯微鏡工作間距 | 50-150mm |
相機(jī)分辨率 | 1080P 60幀 |
相機(jī)信號(hào)輸出 | HDMI輸出+USB輸出 |
LED可調(diào)光源 | LED光源 |
顯示屏 | 5寸 屏幕一體機(jī) |