硅基叉指電極微型探針臺KT-Z4019MRL4T  

電化學傳感器通過與被測目標分析物發(fā)生反應(yīng)，并產(chǎn)生與目標分析物濃度成比例的電信號來工作。典型的電化學傳感器由傳感電極和反電極組成，并有一個薄電解層隔開。在環(huán)境監(jiān)測中，可以在電化學傳感器的電極之間生長可與目標分析物發(fā)生反應(yīng)并發(fā)生阻值變化的捕獲物，通過檢測捕獲物的電阻值變化，實現(xiàn)檢測環(huán)境中大部分有毒有害生物化學物質(zhì)的目的。電化學傳感器通常具有操作簡單、儀器成本低等特點。除此之外，電化學傳感器可以與各種的微機電系統(tǒng)制造技術(shù)聯(lián)用，從而實現(xiàn)大規(guī)模的批量生產(chǎn)，并且可以實現(xiàn)小型化從而降低成本。
折疊編輯本段結(jié)構(gòu)
叉指電極結(jié)構(gòu)
        微間距的叉指電極是一種為常用的微間距電極結(jié)構(gòu)，它被廣泛的應(yīng)用于非破壞性測試、電子通訊、化學測試等多個領(lǐng)域。 一般來說，不同的應(yīng)用領(lǐng)域?qū)τ诓嬷鸽姌O的形狀、幾何學尺寸、加工工藝、材料的選擇、建模分析、系統(tǒng)集成以及數(shù)據(jù)的分析都有不同的要求，因此對于不同的領(lǐng)域我們應(yīng)該區(qū)分對待。如圖所示，列出了幾種常見的叉指電極結(jié)構(gòu)，基本的結(jié)構(gòu)有圓形、矩形等，而每條叉指的形狀除簡單的矩形外，也可有圓形或矩形突起。在這里，我們要根據(jù)環(huán)境監(jiān)測的具體要求，針對叉指電極的結(jié)構(gòu)形狀進行分析說明和終的結(jié)構(gòu)選擇，確定具體的設(shè)計參數(shù)根據(jù)微弱信號檢測的相關(guān)原理，在低頻信號測量時，電阻值越高，其相應(yīng)的電阻熱噪聲和閃爍噪聲也就越高，不利于信號的提取和檢測[1]。所以，可以通過減少敏感膜電阻值的方法，實現(xiàn)對氣體敏感傳感器的信號噪聲比的提高，從而減小噪聲對測量信號的干擾。根據(jù)電阻的計算公式，影響阻值變化的因素主要有電阻率、電阻長度及橫截面積等。一般情況下，氣體敏感材料薄膜的電阻率較高，因此減小敏感膜電阻值的方法是增加敏感膜的厚度或者是增大敏感膜的寬長比。但是，敏感膜的厚度太大會降低氣體敏感傳感器的響應(yīng)時間。因此，綜合考慮到響應(yīng)時間和信噪比，需要設(shè)計優(yōu)化氣體敏感傳感器中微電極的厚度和長寬比。

硅基叉指電極微型探針臺KT-Z4019MRL4T 參數(shù)