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產(chǎn)品中心

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小型離子濺射儀 鄭州 科探

產(chǎn)品簡介

小型離子濺射儀 鄭州 科探KT-Z1650PVD在磁控濺射中,由于運動電子在磁場中受到洛侖茲力,它們的運動軌跡會發(fā)生彎曲甚至產(chǎn)生螺旋運動,其運動路徑變長,因而增加了與工作氣體分子碰撞的次數(shù),使等離子體密度增大,從而磁控濺射速率得到很大的提高,而且可以在較低的濺射電壓和氣壓下工作。

產(chǎn)品型號:KT-Z1650PVD
更新時間:2024-03-27
廠商性質:生產(chǎn)廠家
訪問量:1538
詳細介紹在線留言
品牌鄭科探濺射氣體根據(jù)需求氣體
樣品臺尺寸φ50mm控制方式觸摸屏智能控制
樣品倉尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
靶材材質金 鉑 銅 銀價格區(qū)間1-5萬
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應用領域化工,電子

小型離子濺射儀 鄭州 科探KT-Z1650PVD

離子濺射儀功能:

一個更加廣泛的選擇由于全自動直流離子濺射儀在制樣過程中被提供給了掃描電鏡用戶,從而為掃描電子顯微鏡所需的涂層要求的適用提供了支持。在結構設計及人機界面方面簡單智能,對人性更加的注重。一個低成本的解決方案由于離子濺射儀對SEM樣品常規(guī)適用黃金濺射被提供了,與此同時能夠利用對金、鉑、銥、銀、銅等不同的靶材的更換來使得更細顆粒的涂層達到。與此同時,利用智能的人機界面對儀器的控制更加的方便、簡單以及精確,與此同時,能夠對鍍層厚度進行估算,對真空實時顯,濺射電流對濺射時間進行設定,對靶材的剩余情況進行計算。

離子濺射儀在掃描電鏡(SEM)的樣品噴金方便為專用的儀器,樣品的導電性及導熱性可以非常有效的提供,使恒沉積速率得到確保,使等離子體對樣品的熱影響和離子轟擊損傷減少,使掃描電鏡觀測結果得到了較為顯著的提高。

產(chǎn)品特點:


彩色觸摸屏:數(shù)據(jù)輸入簡單快速

    • 通過觸摸屏中直觀檢測數(shù)據(jù)和曲線;歷史頁面可顯示歷史涂層信息。

    • 可控鍍膜速率,可得到更精細的晶粒結構

    • 可手動或自動,根據(jù)時間或根據(jù)厚度進行濺射

• 樣品臺更換簡單:標準旋轉樣品臺或選用行星式旋轉樣品臺。標準樣品臺高度可調、可傾斜、可旋轉;行星式旋轉樣品臺為多孔樣品帶來好的噴金效果。

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小型離子濺射儀 鄭州 科探KT-Z1650PVD廠家供應技術參數(shù);

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺轉速

8轉/分鐘

樣品濺射源調節(jié)距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口



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